1、水準儀（英文：level）是建立水平視線測定地面兩點間高差的儀器。原理為根據水準測量原理測量地面點間高差。主要部件有望遠鏡、管水準器（或補償器）、垂直軸、基座、腳螺旋。按結構分為微傾水準儀、自動安平水準儀、激光水準儀和數字水準儀（又稱電子水準儀）。按精度分為精密水準儀和普通水準儀。

2、經緯儀是一種根據測角原理設計的測量水平角和豎直角的測量儀器，分為光學經緯儀和電子經緯儀兩種，目前最常用的是電子經緯儀。

經緯儀是望遠鏡的機械部分，使望遠鏡能指向不同方向。經緯儀具有兩條互相垂直的轉軸，以調校望遠鏡的方位角及水平高度。經緯儀是一種測角儀器，它配備望遠鏡、水平度盤和讀數的指標、豎直度盤和讀數的指標。

3、全站儀，即全站型電子測距儀（Electronic Total Station），是一種集光、機、電為一體的高技術測量儀器，是集水平角、垂直角、距離（斜距、平距）、高差測量功能于一體的測繪儀器系統。與光學經緯儀比較電子經緯儀將光學度盤換為光電掃描度盤，將人工光學測微讀數代之以自動記錄和顯示讀數，使測角操作簡單化，且可避免讀數誤差的產生。因其一次安置儀器就可完成該測站上全部測量工作，所以稱之為全站儀。

隨著電子測距技術的出現，大大地推動了速測儀的發展。用電磁波測距儀代替光學視距經緯儀，使得測程更大、測量時間更短、精度更高。人們將距離由電磁波測距儀測定的速測儀籠統地稱之為“電子速測儀”（Electronic Tachymeter）。然而，隨著電子測角技術的出現。這一“電子速測儀”的概念又相應地發生了變化，根據測角方法的不同分為半站型電子速測儀和全站型電子速測儀。

半站型電子速測儀是指用光學方法測角的電子速測儀，也有稱之為“測距經緯儀”。這種速測儀出現較早，并且進行了不斷的改進，可將光學角度讀數通過鍵盤輸入到測距儀，對斜距進行化算，最后得出平距、高差、方向角和坐標差，這些結果都可自動地傳輸到外部存儲器中。